半导体晶圆厂晶圆载具(FOUP,POD等)存储设备

主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储，根据无尘室可利用空间，灵活设计定制各类型STK(T、R、Tower)，实现空间最大化利用及跨楼层传送。根据客户需求，可支持带净化功能。
                    

半导体晶圆厂光罩盒的存储立体柜

一方面可用于存放半导体工厂光罩盒，光罩盒的条码资料通过控制器，上传到工厂上位系统，让产线工人能通过PC准确、快速的在系统端查到指定光罩盒的位置。另一方面，40nm高阶工艺以下工厂，通过充入纯净气体，保证光罩品质，从而达到提高晶圆厂整体产品良率的目的。

小型光罩盒存储设备

带充气功能的光罩盒储存设备，40nm以下光罩盒充气柜，用于批量存储集成电路生产用的光罩盒，通过充入纯净气体，保证光罩品质。

高进出量机台晶圆缓存设备

可将工艺生产时间短（高进出量）的机台利用率提升至近100%。在机台上下料口上方加装数层缓存区，以匹配机台工艺生产速度，减少机台等待时间，提高机台利用率。NTB通过半导体标准通讯协议（SECS）实现与FAB的上层系统的数据交互，以及与天车系统的物理交互，基于E84通讯协议。

半导体晶圆厂空中晶圆载具缓存区

在轨道下方架设OHB系统，可实现FOUP/POD的大量存储，结合OHT系统，可加快传送时间，提升传输效率。