半导体晶圆厂晶圆载具(FOUP,FOSB,POD,RETICLE POD,)空中自动传送设备

 通过物料调度软件系统MSTC控制，从而完成物料（Pod、Cassette、Foup……）从A站点到B站点的自动传送过程。遵循半导体设备标准通讯协议，包括SEMI E82、SEMI E84、SEMI E99等，使其易接入半导体工厂的上层系统来实现数据交互，达到SEMI的标准。