半导体AMHS一站式调度控制软件产品, 引入先进人工智能AI算法技术, 颠覆了传统国外厂商以权重作为路径选择的方案, 用更少的硬件资源完成相同的传送体量。
负责管理来自 Manufacturing Execution System(MES)下达的搬运指令,并且进行有效率的路径管理与设计自动化机制来排除AMHS异常状况。有充足的MES对接案例与多个AMHS厂商合作经验, 可提供一个完善且稳定的搬运环境。客制化的MSMC功能与GUI操作接口,可改善搬运瓶颈点问题并且提升全厂物料搬运效率, 同时提供完整的搬送史纪录与效率分析统计报表。
通过SECS、RV、TCP/IP通信与MCS、EAP、Stocker、MR、Erack建立连接,实现HA功能可确保稳定调度各MR执行Equipment、Stocker、Erack间的搬运任务并实时上报关键节点信息。
聆听HOST[上位机,通常是MCS(物料控制系统)]下发的传输和控制命令,转换为对OHT的控制,并向HOST上报相关状态信息。具有高稳定性、高扩展性、高性能,可视化管理等优势,支持配置化部署,单个FAB内分区控制和跨多个FAB调度。
提供对无尘室存储库的智能化管理功能,通过HSMS标准协议接收来自客户上位系统如MCS或MES下发的搬运指令,控制自动存取机械手实现晶圆盒的存取动作。采用的智能算法优化存储库的指令执行和货位管理逻辑,缩短晶圆盒的存取搬运时间,提高存储库出入库频次和利用效率。
对现有AMHS系统的数据分析,找出搬送过程中出现的瓶颈,进行有针对性的调整; 对运行轨迹的历史复现,还原历史现场发生的问题。通过绿地规化仿真硬件投资后的效果,实现科学性规划,避免过度投资。